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在定位精度小于1微米的情况下，多个零件（2到几十步）和不同的材料可以被连接起来，形成一个带有微孔的三维结构。导电性⁄非导电性部件也可以被接合。 每个部件的孔可以从Φ0.1微米开始加工。
