吸着プレートとは、製品を吸着固定する治具のことです。製品を吸着する面を真空にすることで安定して固定させます。呼び方も吸着プレートの他、吸着ノズル、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質の板に吸着固定する形式などがあります。弊社が得意としている微細孔加工技術で高精度な吸着プレートをご提供できます。
金属以外にも樹脂やセラミックスの多孔加工に対応しています。自社で開発した専用工具により、一般的な市販工具では難しい微細な孔加工が可能です。また、孔加工と同時に、平面度・平行度をミクロンオーダーで仕上げる高精度加工を実現します。
ディスペンサーノズルは、液体やペースト状の材料を所定の位置に所定量だけ吐出・塗布するためのノズル部品で、電子部品実装や半導体製造、接着剤塗布など精密な材料供給が必要な製造工程で広く使われています。ノズルの選定は、使用する材料、塗布量、精度要求などに応じて最適化される必要があります。
孔内面をなめらかに仕上げることで、粉体や樹脂の詰まりを抑制し、安定した使用を実現します。
円孔だけでなくスリット形状の加工にも対応し、設計自由度をさらに高めます。
用途や要求仕様に合わせ、形状・寸法を一から設計可能。既製品では対応できないニーズにも柔軟に応えます。
インクジェットノズルは、インクを微細な液滴として噴射し、紙などのメディアにインクを正確に着弾させる機構です。ノズルの数や配列、駆動方式によって印刷の解像度や速度が決まります。そのため穴位置や加工穴径などに高い精度が求められます。
穴内壁面の仕上がりにこだわり、高い表面品質を確保しています。流体の通過時に影響を与えにくい、安定した加工品質を実現します。
μmレベルの穴位置精度を実現しており、精密部品や微細構造が求められる用途に対応可能です。
加工だけでなく、吐出性能の評価にも対応しています。実使用を想定した確認が可能なため、試作から評価まで一貫した検討が行えます。
電子ビーム部品は、高精度な電子ビーム制御に不可欠な要素です。電子銃などを含み、半導体製造や医療機器など幅広い分野で活用されています。高い信頼性と精密加工技術が特徴です。
電子放出源に求められる高精度加工に対応し、用途に応じた微細・高品質な加工を実現します。
長年培った工具製作技術を応用し、微細ピン形状など高難度形状の加工が可能です。
フィラメント製作やセラミックスのロウ付けについても、信頼ある協力企業との連携により対応可能です。
部品加工だけでなく、組立や精度出し（芯出し）作業まで含めた一貫した対応が可能です。
LaB6、IrCe、純タングステン（W）など、電子放出源用途に用いられる各種材料の加工実績があります。
アパーチャーは、光や電子・イオンビーム、流体の広がりや進行方向を制御する開口部です。電子顕微鏡などに使用され、観察や加工の精度向上に欠かせません。高い真円性や平滑性、帯電防止などが求められる重要な部品です。
微細孔の内部に至るまで高い表面品質を確保し、1μm未満レベルの真円精度を実現しています。極小径領域においても品質ばらつきを抑え、一貫した加工精度を安定して維持します。