超精密接合・その他

超精密接合

1μm以下の位置合わせ精度により、複数部品(2~数十段)、異種材料を接合して、微細穴の立体構造を形成します。
導電性⁄ 非導電性の部品も接着することが可能です。各部品の穴は、Φ0.1μm~の加工が可能です。

超精密接合

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その他

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